一、人员控制

着装要求：所有进入半导体车间的人员必须穿戴符合要求的洁净服、无尘鞋、口罩、手套等个人防护装备。这些装备需要定期更换和清洗，以防止人员带入污染物。

行为规范：进入车间前，人员需要进行彻底的清洁和消毒，包括洗手、更换工作服等。在车间内，人员应遵守洁净室的操作规程，如禁止吸烟、饮水、饮食等。

培训教育：对进入半导体车间的人员进行专业培训，包括洁净室的操作规程、个人卫生习惯等，以提高他们的洁净意识。

二、物料控制

物料清洁：所有进入半导体车间的物料都需要进行清洁处理，确保表面无尘埃、油污等污染物。

包装要求：物料应采用密封性好的包装材料，以防止在运输和储存过程中受到污染。

进出管理：建立严格的物料进出管理制度，对进出车间的物料进行登记和检查，确保符合洁净要求。

三、环境控制

温湿度管理：半导体车间内的温度和湿度需要控制在一定范围内，以防止霉菌和其他微生物的生长。通常，温度应控制在18-26℃，相对湿度控制在45-65%。

空气过滤：采用高效空气过滤器（如HEPA或ULPA）对车间内的空气进行过滤，以去除空气中的微粒和微生物。

压力控制：维持车间内部相对于外部环境的正压，以防止外部污染物通过门窗缝隙等进入车间。

四、设备控制

设备清洁：定期对半导体车间内的设备进行清洁和维护，包括生产线、工作台、存储柜等，以确保其表面无尘埃和污染物。

设备维护：对关键设备进行定期检查和维护，确保其正常运行并减少故障产生的污染物。

五、其他控制措施

清洁计划：制定详细的清洁计划，包括清洁频率、清洁剂使用、垃圾处理等方面。清洁工作应由经过专业培训的工作人员完成。

应急预案：建立完善的应急预案，以应对突发事件和污染事件。预案应包括快速响应机制、污染源处理措施、环境监测等。

持续监测：定期对半导体车间内的环境进行监测，包括空气质量、温湿度、尘埃粒子等，以确保其符合生产要求。